NIL纳米压印设备在能耗方面相比EUV可以降低90%。
同时由于转换率更好研发成本更低,比EUV研发成本降低60%左右,所以纳米压印也被视为目前最有可能替代EUV实现7纳米以下制程的一项主流的光刻技术。
既然纳米压印技术有如此多的优点,为何从1995年提出以来,至今已经发展了二十年,一直没有实现真正的大规模应用呢?
主要有三大难点需要解决。
首先第一个难点就是模板制作问题,如果想要得到EUV光刻量级的加工精度,模板本身尺寸要做得非常小,模板的制备对于加工工艺要求极高,需要确保有非常完美的平整度和误差。
同时纳米压印技术对于模板的材料选择也是极为苛刻。
不仅需要有较高的强度、机械强度和抗腐蚀性,同时需要确保在高温下非常小的膨胀系数,以做到反复印制的要求。
根据工艺要求不同目前有硅质模板、石英模板、镍模板和聚合物、PDMS、复合模板等等。
第二个关键技术难点是在压印胶方面,与传统光刻胶不同,NIL所需要的压印胶,需要具有与基底良好的结合力、低粘黏度以顺利完成整個脱胶过程。
同时需要收缩度小、涂覆性强等特点。
经过二十年的探索纳米压印胶还依然处于不断探索和优化阶段。
最后一个难点是在压印和刻蚀设备方面。
我们看出纳米压印方式与传统光刻方式是走了一个截然不同的道路。
理想的情况需要整个压印和刻蚀过程不能出现任何气泡、变形、还有粘连情况。
对于涂胶的均匀度设备的稳定性都有很高的要求。
即使是非常细微的震动和机械误差都会造成良品率大幅度下降。
特别是生产复杂结构的逻辑芯片,想要攻克加工偏差的问题,短期内是无法实现的。
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想要拥有整套NIL纳米压印技术,就必须要购买相应配套技术才行。
除了NIL纳米压印设备以外,还需要购买压印胶技术和刻蚀设备。
NIL纳米压印设备设备所需要的声望值并不高,只需要十亿声望值就可以把它拿下来,但是它的研究费用和研发时间十分可怕。
需要三年的研发时间和五十亿研发费用。
因为NIL纳米压印和EUV光刻技术不一样,EUV光刻技术已经拥有完整生产链,NIL纳米压印大部分的技术只能自行研发。
这也是项技术研发周期长费用高的原因。
至于压印胶技术和刻蚀设备就简单多了。
压印胶只需要一个亿声望值、五千万的研发费用和六个月的研发周期。
刻蚀设备的的研发费用是最便宜的,只需要三千万的声望值、一个亿的研发费用和六个月研发周期。
也就是说曹莽想要把这项技术完全实现出来,那就需要二十二亿六千万的声望值,以及五十亿一千五百万的研发费用即可。
这项技术最牛逼的还是他在能效上的消耗。
制造一颗芯片大部份成本都用在电费上面。
NIL纳米压印似乎可以将制造芯片制造成本降低70%以上。
也就是说原本一颗300块的芯片,通过这项技术可以将成本降到90块,这其中的成本差距可都是利润啊。
虽然曹莽已经购买了7纳米EUV激光制造技术了。
不过曹莽并不介意把NIL纳米压印给弄出来,毕竟这东西能够让制造成本下降70%。
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转眼曹莽便来到王晓媛别墅。
申利东等人把曹莽送到别墅后便到隔壁别墅住下。