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374.参加会展买AMSL光刻机

桑德斯实在是太拉风了,只要有他在,所有的目光都会汇聚在他身上,赵德彬几乎可以完美隐身。

凡是桑德斯所到之处,所有厂商都对他非常热情,换了赵德彬可能还会觉得有点麻烦,但桑德斯明显乐在其中,可看得出来,他非常享受这种追捧。

赵德彬此行主要目标是光刻机,现在基本上已经确定好了要从彗普买的设备名单,彗普现有的光刻机赵德彬看不上,他准备低价买进给AMI生产AM386,以后淘汰了还可以用来生产VCD芯片等乱七八糟的小东西。

至于拉扎那边的486,以及未来的586,赵德彬准备买最新型号的设备。

赵德彬在会场里逛着,很快就和其他人走散了,身边只剩了一个凯茜。

会场很大,参展的厂商很多,但能满足赵德彬要求的也就那么几家,用一只手就能数的过来。

在1991年,生产光刻机最牛逼的厂商是两家倭国企业:霓康和嘉能,后世大名鼎鼎的AMSL勉勉强强能排到第三。

霓康是老大,在全世界的光刻机市场上都占据着超过50%的份额,一年要出货400台设备;

到了老二嘉能就少了很多了,也就百多台的样子;

至于AMSL就更可怜了,一年能卖出去五十台设备就烧高香了。

赵德彬分别到霓康和嘉能的展台上看了看,霓康最新型号的光刻机是Nikon NSR-1505G2,嘉能的是 FPA-2000i4,赵德彬并没有对这两个型号动心,除了他本能地不想买倭国人的东西以外,这两款设备总让赵德彬感觉是完全过时的产品。

然后,赵德彬又踱到了AMSL的展台上。

与霓康和嘉能一样,AMSL也直接拉过来一台光刻机摆在展台上。

不同的是,AMSL展台人流量少了很多。

赵德彬的形象一看就是有钱人,像他这样的人出现在这里,别人都会以为他是来自东亚的厂二代,这样的人无疑是家里有矿的存在,经济实力非常强。

所以,从赵德彬露面伊始,AMSL的工作人员立刻迎了上来,先是塞了一份宣传册在赵德彬手里,然后热情地对着赵德彬介绍:

“先生,你好。

现在展出的是我们公司在今年3月上市的新型号,PAS 5500,这可以称得上是一款划时代的产品。

PAS 5500是一款高吞吐量I线步进机,它采用365纳米波长的光,能够实现280纳米分辨率。

它利用5倍的缩小和投影功能,通过步进和重复将光掩模图案转移到用户基板上。

目前,市场上只有我们这款设备是I线的,其他公司,包括霓康和嘉能的设备都是G线的。

并且,我们的设备可以处理8英寸的晶圆,这可以显著提高效率,并且降低成本。

另外,我们有全自动晶圆处理系统,可以容纳从直径200毫米的晶圆到小块的基板。

前不久,ICM位于新约市东菲什基尔晶圆厂刚刚采购了一批我们的设备,用于建造8英寸晶圆生产线。”

这里所说的“I线”和“G线”指的是不同类型的光刻胶,这是根据曝光光源波长来分类的:

G线对应着436nm的波长,应用于6寸晶圆、

I线是365nm,用于6寸、8寸晶圆、

深紫外,也就是DUV,包括KrF 248nm(用于8寸晶圆)和ArF 193nm(12寸晶圆)、

以及我们熟知的极紫外(EUV),用于12寸晶圆。

这也是光刻机的演进方向。

在1991年,大多数的光刻机还是第一代G线设备,第二代I线设备暂时只有AMSL这款PAS 5500。

后世,动不动上亿丑元的光刻机指的就是EUV。

而之所以半导体厂商都在追求越来越大的晶圆尺寸,这是因为晶圆的面积越大,浪费的边角料越少,实际上能得到的Die(晶粒)更多。

比如,在1988年,为实现从碟子大的6英寸到餐盘大的8英寸的升级,ICM豪掷10亿丑元,研发了世界第一条8英寸晶圆生产线以及配套工艺,就因为8寸晶圆的面积是6英寸的1.77倍。

后世,晶圆大小已经发展到了12英寸。

赵德彬对这款设备很感兴趣,他问道:“叠加精度和数值孔径是什么?产量怎么样?”

“叠加精度40纳米,数值孔径是0.48至0.60,产量是每小时84片晶圆。”

“嗯,不错,”赵德彬点点头,他感觉这就是他想要的设备。

见状,凯茜很有眼色地到一旁给桑德斯和拉扎打电话。

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