苏硅半导体现在使用的光刻机是基于申城自研光刻机改造的,使用的是单工件台系统。
路阳脑内的科技树中,在DUV光刻机目录下就有单工件台系统与双工件台系统,从名字就可以看出,双工件台肯定要更加先进,只是系统并未给出内容,如果在这次改进计划中加入双工件台那就完美了。
ASML的双工件台系统可以提高4-5倍产能,这让路阳非常心动。
路阳拨通廖老电话,电话那头人声鼎沸,专家组又在争论不休。
“先用20KW的稳定光源做测试,再进行演算验证,现在都是纸上谈兵!”
“什么纸上谈兵,这都是有数字依据的严谨推论,我认为可以直接进入下一步计算了。”
……
专家组讨论不休,电话那头传来轻咳的声音,
“喂,路阳啊,有事吗?”
“老师,国内现在有哪家企业在研究双工件台的吗?”
“你稍等啊……”没过多久,电话安静下来,廖老应该是走到一旁了。
“你想在这次升级中加入双工件台吗?”
路阳应声答是!
廖老的声音再次传来:“华卓工件一直在从事这方面的研究,不过精度始终突破不了90纳米,否则申城微电子早就用他们的系统了。”
似乎是想起路阳的能力,廖老声音变得更为洪亮:“我给你个电话,这次DUV光刻机改造如果能加入双工件台,无论是华芯还是申城微电子,产能都会翻几倍。”
看着手机里发来的信息,朱易教授,清大IC制造装备研究院,华卓工件董事长。
清大?季一楠最近不正好在京城吗,这事就交给她去办了。
现在要解决的是如何说服何洪年的问题,两次接触下来,对方的性格比较固执,认准的事不会轻易改变,路阳又不可能告知他系统的存在。
现在知道路阳能力的人只有周怀义与廖老,上面的大佬有几位知晓路阳并不知情,周怀义曾多次警告过路阳,无论多紧急都不准备暴露,哪怕两人在谈到系统时,都是以记忆指代。
晚上的周会,安排完季一楠的工作后,路阳把这个顾虑告诉了周怀义。
“确实如此,如果何洪年知道了你这个能力,以他对华微的感情,说不准会出什么事,既然这次廖老决定抗旗,那就把成果都推到廖老头上好了,他不会拒绝的。”
“周哥,过两天就12月1日了。”
周怀义知道他在问什么,12月1日华微首席财务官孟文心女士在枫叶国被批捕,上次路阳曾经问过一次。
“路阳,你的记忆中,孟女士是不是最后安全回国了?”