毕竟这只是理想情况,在精密的机器中加水构建浸润环境,既要考虑实际性能,又要操心污染。如果为了这一条短期替代方案,耽误了光源研究,吃力不讨好只是其次,被对手反超可就不好看了。
当时尚是小角色的阿斯麦决定赌一把,相比之前在传统干式微影上的投入,押注浸润式技术更有可能以小博大。
于是和林本坚一拍即合,仅用一年时间,就在2004年拼全力赶出了第一台样机,并先后夺下IBM和台积电等大客户的订单。
尼康晚了半步,很快也就亮出了干式微影157nm技术的成品,但毕竟被阿斯麦抢了头阵,更何况波长还略落后于对手。
等到一年后又完成了对浸润式技术的追赶,客户却已经不承认“老情人”,毕竟光刻机又不是小朋友玩具,更替要钱,学习更要成本。
随后两者的差距越拉越大,尼康的光刻机也就只能在中低端使用了。
(注意:我们现在说的光刻机制程绝大部分都是“浸润式”DUV深紫外光光刻机,7nm以下用的才是EUV极紫外光光刻机。)
……
因此,可以说林本坚提出的“浸润式”光刻技术既是推动光刻机技术继续发展的理论,也是改变光刻机格局的潜在推动力量。
而这也是李星灿做出那个“不人道”决定的原因——李星灿想打断光刻机的进程,从而维持一段时间内相对均衡的局势。
一段时间内相对均衡的光刻机厂商局面,对于想要追赶的中国来说,形成的外部环境优势会更加明显。
同时在未来,中国将会有更多的时间和机会去追赶。
(至于有些某点小说,上来就敢搞光刻机的,那真的都是神仙——都tm可以“无中生有”!当然另一方面娱乐至上的话,也可以理解……)
对于像中芯国际这样的顾客来说,“一家独大”远不如“各有千秋”来得好。
这也是Intel扶持尼康的原因之一,当然后来实在是扶不动(尼康的技术实在不行。),就被放弃了。
除此之外,李星灿对于台积电的整体感官也并不太好,这也减轻李星灿的道德压力。(或者说,有些敌视。)
2008年前后,台积电曾两次状告“中芯国际”技术侵权,强制迫使创始人张汝京离职,“中芯国际”迅速崛起的势头一下子顿挫,看样子似乎就是想把中芯国际扼杀在摇篮里。
当然,商场如战场,从法理的角度来说,这么做也没什么。
但是在2018年的一次采访,张忠谋又说了:“中国大陆不应该搞芯片制造,而应该注重于芯片设计领域,芯片制造交给台湾就好了。”
你要是在中国介入芯片制造这个领域之前,一开始就说这个话,那可以说是提意见和看法。
但是在2018年这个节点,中国已经摆好姿态,摆明要在半导体的各个领域开始发力,你再说这个话,怎么看都是想扰乱中国半导体发展的局势,在为自己谋取利益。
……
当然从事实来说,我们不可否认的是正如张忠谋说的那样,在芯片制造领域很难弯道超车。
但是就像当年造原子弹(从技术上来说,光刻机比当初造原子弹更难)的时候,老大哥有,但是它不给,还搞技术封锁。
与此同时,面临的国际局势也很艰难,但是我们也没有选择放弃。
却说出来一句充满艰辛而又饱含深情的话:“爹有娘有(现在是儿子有),不如自己有。”